荏原製作所

荏原製作所では、除菌にも利用できる「オゾン水製造装置（OZW型）」をラインナップ。ここでは、製品の特徴や機能、サポート体制など、製品選びに役立つ情報についてまとめています。

引用元HP：荏原製作所公式
https://www.ebara.co.jp/

荏原製作所（オゾン水製造装置（OZW型））の除菌水製造装置の特徴

従来製品よりコストパフォーマンスがUP

荏原製作所の「オゾン水製造装置（OZW型）」には、オゾン溶解ユニットによる直接溶解方式が採用されています。この新開発の技術により、フッ素樹脂製溶解膜を採用した従来製品よりもランニングコストの低減を実現。さらに、本体のコンパクト化も可能にし、限られたスペースでも設置ができるように改良されています。

純度の高いオゾン水を生成できる

半導体といったデリケートな部品の洗浄ニーズにも応えられるよう、荏原製作所ではオゾン水の純度にもこだわって製品を設計。新開発のオゾン溶解方式に加え、荏原クリーンオゾナイザと低汚染加圧ポンプを組み合わせたことで、TOC（全有機体炭素）の少ないオゾン水を生成可能です。

置き場所に左右されず一定の流量をキープ

「オゾン水製造装置（OZW型）」は、濃度125mg/Lの高濃度オゾン水の生成も可能です。また、濃度をリアルタイムに計測する機能が搭載されており、一定濃度に保てます。給水に関しても、無段階可変速型加圧ポンプの働きにより、高低差がある場所でも安定した流量で給水が行えます。

このメディアでは、他にも、衛生管理が行える除菌水製造装置を紹介しています。TOPページでは利用する目的や場所に合わせてオススメの除菌水製造装置を紹介していますので、ぜひチェックしてみてください。

荏原製作所（オゾン水製造装置（OZW型））の除菌水製造装置の機能について

安全装置搭載で速やかに運転停止

装置の異常を検知する安全回路により、トラブルが発生した際に自動で運転停止する安全装置を搭載。この他にも、オゾンガス検知器、オゾンガス無毒化触媒といった安全機器も装備されています。また、運転信号やインターロック信号回路が組み込み、洗浄装置と連動させられるように設計。容易にメンテナンスが行える仕様となっています。

荏原製作所（オゾン水製造装置（OZW型））の除菌水製造装置の利用シーン

半導体の製造工程全体をカバー

「オゾン水製造装置（OZW型）」は不純物の少ないオゾン水を生成できることから、半導体の洗浄除菌に用いられています。なお荏原製作所ではオゾン水製造装置のほかに、ドライ真空ポンプや排ガス処理装置といった半導体製造に必要な機器類も手がけており、製造プロセス全体で活用可能です。

除菌水製造装置の導入方法
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荏原製作所（オゾン水製造装置（OZW型））の除菌水製造装置のサポートについて

顧客密着型のサポート体制を構築

荏原製作所では世界8か国50か所以上にサービス拠点を構えて、顧客に密着したサポート体制を整備しています。サポート内容も充実しており、機器操作のトレーニングサービスや装置の設置・インストールサービス、定期メンテナンスなどを提供。BCP対策の一環として、安定したサポート行うことで導入企業への貢献を目指しています。

荏原製作所の会社情報

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